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亚微米级精密运动平台

重复定位精度 ±0.3μm

速度稳定性 ±1‰@300mm/s

高动态响应特性

低静态抖动

快速整定

支持非标定制

|  产品详情

技术指标

 数据

有效行程

X轴:300mm  Y轴:300mm

最大速度

X轴:1000mm/s  Y轴:1000mm/s

速度稳定性

X轴:±1‰@300mm/s Y轴:1‰@300mm/s

最大加速度 

X轴:1G  Y轴:1G

重复定位精度

X轴:±0.3μm  Y轴:±0.3μm

绝对定位精度

X轴:±0.5μm  Y轴:±0.5μm

整定时间

X轴:20ms@±1μm/0.6G  Y轴:50ms@±1μm/0.6G 

直线度

X轴:±1.5μm  Y轴:±1.5μm

行走平面度

X轴:±3μm  Y轴:±3μm

XY正交度 

±3μm

最大负载

10kg

光栅尺分辨率

0.1μm
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